بررسی تاثیر دمای بازپخت در نانو ساختار لایه های نازک اکسید مولیبدن

پایان نامه
چکیده

لایه های نازک مولیبدن با ضخامتnm 50، با استفاده از سیستم کندوپاش مغناطیسی بر روی زیرلایه (400) si انباشت شدند و در دماهای مختلف (?700، 575، 450، 325، 200) در حضور شار ثابت اکسیژن (cc/min200) بازپخت شدند. ساختار بلوری نمونه ها با پراش اشعه- x تحلیل شد و از یک میکروسکوپ نیروی اتمی(afm) برای بررسی ریخت شناسی سطح نمونه ها استفاده شد. مقاومت ویژه لایه های نازک اکسید مولیبدن نیز با استفاده از ابزار چهار میله نوک تیز (fpp) تحلیل شد. نتایج پراش پرتو-x نشان داد ساختار بلوری لایه های نازک اکسید مولیبدن قویاً به دمای بازپخت وابسته است، همچنین نتایج نشان داد که افزایش دمای بازپخت سبب افزایش اندازه دانه ها، زمختی سطح نمونه ها می شود. همچنین نتایج بررسی الکتریکی نشان داد مقاومت ویژه نمونه ها با افزایش دمای بازپخت تا ? 575 افزایش وسپس کاهش می یابد.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

بررسی نانو ساختار لایه های نازک اکسید مس بصورت تابعی از دمای بازپخت

این پایان نامه به بررسی تاثیر دما و محیط بازپخت در نانو ساختار لایه های نازک اکسید مس می پردازد. لایه های نازک مس به روش تبخیر حرارتی در خلاء( pvd ) برروی زیر لایه های شیشه تهیه شده و سپس در محیط های مختلف در اتمسفر(هوا) و در حضور شار ثابت اکسیژن (cc/min 200) در دماهای c?400-200 باز پخت شدند. در مرحله بعد نیز به وسیه آنالیزی های پراش پرتو – (xrd)x و میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) ساختار کریستالو ...

15 صفحه اول

بررسی تاثیر دمای بازپخت در نانوساختار و خواص مکانیکی لایه های نازک نیترید مولیبدن

لایه های نازک نیترید مولیبدن، به دلیل خواص فیزیکی فوق العاده شان از قبیل: رسانایی الکتریکی خوب و پایداری شیمیایی، استحکام عالی، توانایی کاتالیزوری و ابر رسانایی به صورت گسترده ای در صنعت استفاده می شوند و کاندیدای آتی برای استفاده به عنوان سد پخش، و الکترودها در میکرو الکترونیک هستند. بازپخت، یک تکنیک بسیار مهم برای بهبود ساختار میکروسکوپی لایه های نازک است. زیرا نانو ساختارها با دما، به خوبی...

15 صفحه اول

مطالعه نانو ساختار و ریخت شناسی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش بازپخت لایه های نازک زیرکونیوم

لایه های نازک زیرکونیوم، به وسیله روش کندوپاش مغناطیسی dc بر روی زیرلایه سیلیکون انباشت شدند و سپس در دماهای ( 750-150) و زمان های متفاوت (min 180و60 ) با شار اکسیژن، بازپخت گردیدند. روش پراش پرتو - x برای مطالعه ساختار بلوری استفاده شد. نتایج، ساختاری مکعبی از فاز ارتورهمبیک اکسید زیرکونیوم برای لایه های بازپخت شده تحت 150 و ساختار مرکبی از منوکلینیک و تتراگونال برای لایه های بازپخت شده در دما...

بررسی تاثیر دمای بازپخت در گاف انرژی اکسید تیتانیوم مورد استفاده در حذف آلاینده‌های زیست محیطی ازآب دریا

لایه های نازک تیتانیوم با روش تبخیر به وسیله باریکه الکترونی با ضخامت 70 نانومتر تهیه و سپس در دماهای مختلف  K 573-300 در حضور شار ثابت اکسیژن بازپخت شدند. نانو ساختار و جهت های  کریستالو گرافی با استفاده از آزمایش پراش پرتو-X تحلیل و خواص اپتیکی نمونه ها با استفاده از دستگاه اسپکتروفوتومتر بررسی شد. با بازپخت  نمونه ها نتایج حاصل از XRD شکل گیری جهت کریستالی A(004) مربوط به فازآناتاس دی اکسید ...

متن کامل

تأثیر دمای بازپخت بر خواص ساختاری و مغناطیسی لایه نازک آهن-پلاتین

هدف اصلی این تحقیق، بررسی خواص ساختاری و مغناطیسی لایه نازک FePt نسبت به دمای بازپخت است. لایه‌های نازک FePt به روش کندوپاش روی زیرلایه شیشه ای با نرخ                          6 و با توان W 110 رسوب داده شدند. خلأ اولیه محفظه کندوپاش برابر Torr 7-10 5 و فشار گاز آرگون mTorr 3 در نظر گرفته شد. پس از تهیه نمونه‌ها، در محدوده 650-450 به مدت 30 دقیقه بازپخت شدند. شناسایی فازی لایه نازک ب...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

دانشگاه آزاد اسلامی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی - دانشکده علوم

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023